型号

CPS-25-CF-HV

CPS-100-CF-77K

CPS-CF

CPS-150-LN2/LHe-HV

样片尺寸

25mm�?/span>50mm�?/span>100mm

50mm

175mm

热规栻�/span>

循环制冷机（型号204N），包括冷头，压缩机，制冷机和氦软管

液氮或液�?/span>

温度范围

10K-480K

77K-480K

4.5K-480K＋�/span>6.5K-480K＋�/span>10K-480K

5K-480K

控温精度

0.1K

温度偏差

100k以下��50mK

-

250k以下��50mK

温度分辨

0.001K

-

0.001K

热锚探头和辐射屏蔼�/span>

温控（加热）盗�/span>

夹头和探针臂的温度监�?/span>

辐射屏蔽的温度监测是可逈�/span>

型号

CPS-25-CF-HV

CPS-100-CF-77K

CPS-CF

CPS-150-LN2/LHe-HV

真空

基础压力较好可达1.0��10-5torr，在室温下用适当的真空泵选择，可以到10-6torr

基础系统

包括气体端口和压力释放阀

-

可视窗口

可根据客户要求添功�/span>

窗口材料：熔融二氧化硅或石英，定制材料和涂层等可逈�/span>

光学系统

变焦70系统＇�/span>4UM分辨率）标准＋�/span>125戕�/span>160变焦系统可作为选配件，以及获得更经济的解决方案

照明系统

同轴和环形照昍�/span>LED照明

同轴LED照明

同轴和环形照昍�/span>LED照明

快门冷却

可选快门冷即�/span>

无论是吊杆安装或底座安装都保�?/span>XY戕�/span>XYZ的精细分辨率

-

摄像夳�/span>

仍�/span>1百万像素�?/span>1k万像素。包括相机的图像和视频捕捉和尺寸测量能力的软仵�/span>

探针

DC（同轴或三轴（�/span>

RF (多方吐�/span>�?

微操佛�/span>

各种分辨率（40 TPI戕�/span>3mm的标准，更高的分辨率可与额外费用）和范围＇�/span>2�?#215;1”X0.5‛�/span>＋�/span>4�?#215;1“X0.5“�/span>戕�/span>4“X1.75�?#215;0.5‛�/span>）可�?/span>

-

各种分辨率（40 TPI戕�/span>3mm的标准，更高的分辨率可与额外费用）和范围＇�/span>2�?#215;1”X0.5‛�/span>＋�/span>4�?#215;1“X0.5“�/span>戕�/span>4“X1.75�?#215;0.5‛�/span>）可�?/span>

电缆

-低温温度

-兼容同轴电缆

-低温下兼容三轴电缅�/span>

-低温射频电缆

-低温非磁性射频电缅�/span>

-低温温度

-兼容同轴电缆

-低温下兼容三轴电缅�/span>

-低温温度

-兼容同轴电缆

-低温下兼容三轴电缅�/span>

-低温射频电缆

-低温非磁性射频电缅�/span>

晶圆卡片

-接地

-分离

-同轴

-三轴

软件

基于LabVIEW的开放源软件

震动隔离

具有空气阻尼系统的隔振台

隔振波纹箠�/span>

震动偏差

小于1um

小于30nm

选配顸�/span>

-

-

光纤探针

-定制的高电平到客户的需汁�/span>

-