欧洲原装进口RTP系列快速退火炉常被应用在各类半导体处理工艺领域，尤其是针对4~8英寸以内的单晶圆处理，JetFirst可以在客户现场轻松升级，100mm轻松升级到可以处�?00毫米晶圆的能力，具有交叉灯技术，可在晶圆上实现更好的温度均匀性、�/p>

应用范围９�/strong>

离子注入/接触退火；

快速热处理(RTP)，快速退�?RTA)，快速热氧化(RTO)，快速热氮化(RTN)：�/p>

SiAu，SiAl，SiMo等炼制合金；

低K电介质；

后植入退火处理；

铜浆烧制：�/p>

电阻浆料烧制：�/p>

太阳能电池晶片键合工艺；

LTO钛酸锂材料制备；

晶体化，致密化；

不锈钢冷腔室�?/strong>优点

工艺重复性高：�/p>

高冷却速率，低记忆效应：�/p>

高温计和热电偶控制；

快速数字PID温度控制器；

超清洁无污染的环境；

无金属和无交叉污柒�/p>