适用于科研及生产线；

基片从上面载�?取出：�/p>

**可支持的尺寸：直径为300mm的基片或�?00mm��300mm的基片；

**温度高达1200摄氏度；

升温速率�?0K/sec：�/p>

降温速率分段控制：从1000℃到400℃，降温速率优于200K/sec。从400℃到100�?*降温速率控制�?0K/sec：�/p>

PID处理控制器，程序段无限制，每程序�?0步，带USB2.0的接口。包含UniSoft 软件，与微软Windows操作系统兼容。通过该软件，通过链接电脑可以非常方便地实现程序编辑以及数据记录、�/p>

不锈钢冷腔室�?/span>优点

工艺重复性高：�/p>

高冷却速率，低记忆效应：�/p>

高温计和热电偶控制；

快速数字PID温度控制器；

超清洁无污染的环境；

无金属和无交叉污柒�/p>

应用范围９�/strong>

离子注入/接触退火；

快速热处理(RTP)，快速退�?RTA)，快速热氧化(RTO)，快速热氮化(RTN)：�/p>

SiAu，SiAl，SiMo等炼制合金；

低K电介质；

后植入退火处理；

铜浆烧制：�/p>

电阻浆料烧制：�/p>

太阳能电池晶片键合工艺；

LTO钛酸锂材料制备；

晶体化，致密化；