FR-Basic VIS/NIR基础型膜厚仪（紫夕�/span>/近红夕�/span>-高分辨率）光谱范围：350-1000nm９�/span>

��)卤钨光源系统Tungsten Halogen light source全软件控制的光谱范围和辐照强度、�/span>

小型光谱仪光谱范図�/span>(350nm-1000nm)，分辨精度可辽�/span>3648像素＋�/span>16位级A/D分辨精度；配月�/span>USB通讯接口：�/span>

光学连接�?/span>SMA 905�光谱仪功率：110VAC/230VAC � 60Hz/50Hz.

10mm厚度的氧化铝面板，每英寸＇�/span>25mm）间距，配有M6 (or ?�?口径钻孔，用以安装光学部件、�/span>

样品放置台，配有多点Z轴聚焦和X-Y轴移动调节。反射探针夹具调节范図�/span>(200mm � 200mm � 60mm)，可在测试区域内精调节、�/span>

��) FR-Monitor膜厚测试软件系统＋�/span>

可精确计算如下参数：

1）单一或堆积膜层的厚度：�/span>

2）静态或动态模式下，单一膜层的折射率；本软件包含了类型丰富的材料折射率数据库，可以有效地协助用户进行线下或者在线测试分析。本系统可支持吸收率，透射率和反射率的测量，还提供任何堆积膜层的理论性反射光谱，一次使用授权，即可安装在任何其他电脑上作膜厚测试后的结果分析使用、�/span>

C)参考样片：

a)经校准过的反射标准硅片；

b)经校准过的带月�/span>SiO₂/Si特征区域的样片；

c)经校准过的带月�/span>Si₃N₄/SiO₂/Si特征区域的样片；

D)反射光学探针

系统内嵌6组透射光探钇�/span>200��m� 1组反射光探针200��m：�/span>