桌面纳米压印机，易于复制微米和纳米级结构、�/span>

纳米压印（热和紫外线（�/span>

直径高达210mm圆形模板，带紫外纾�/span>

150 * 150mm方片模板，采用热处理工艺

热压�?/span>

操作简单直见�/span>

用途广泚�/span>

即插即用

专为研发而设讠�/span>

CNI v3.0PV是用于纳米压印和热压印的小型桌面工具，可完成微米和纳米结构从模板复制�?/span>基质、�/span>

CNI v3.0PV纳米压印机可以执行热压印以及紫外压印＋�/span>CNI纳米压印机是纳米复制�?*起点，同时也支持成熟和高级的开发工作，纳米压印机操作简单，坚固耐用，便于非标准流程和新实验、�/span>

易于安装即插即用（不�?/span>20分钟的时间内就可运行工作（�/span>

优势凭借其热压印和紫外压印的功能，如果需要，在真空中＋�/span>CNI v3.0PV纳米压印机在其产品中�?***的，并支持许多不同的技术和工艺、�/span>

使用方便无需查看使用手册，每个人都能使用：�/span>

紧凑尺寸26*30*14cm(120mm腔室的尺寷�/span>)：�/span>

42*44*14cm(210mm腔室的尺寷�/span>)：�/span>

安装CNI结构紧凑，无需固定安装：�/span>

高质量压�?/span>能够将小亍�/span>40nm的结构复制到大于100��m的结构；

多功胼�/span>可使用任何尺寸的印章咋�/span>模板，直�?*210mm(8英寸)圆形皃�/span>模板：�/span>

技术支�?/span>提供个性化支持，专注于您的加工需求；

特征９�/span>桌面大小的纳米压印工其�/span>

热压印温度高辽�/span>250ℂ�/span>

紫外纳米压印＋�/span>365nm曝光(or405nm‒�/span>自定义选项)

压印压力仍�/span>0.3�?/span>11bar

在真空压�?/span>1mbar

印章和基材尺寸：直径可达210mm

印章和基材没有固定的样式

坚固且易于使�?/span>

手动装卸印章咋�/span>模板

自动程控

软件操作界面简協�/span>

可记录所有步骤和流程

CNI V3.0支持许多不同的技术：

热纳米压�?/span>

UV纳米压印

热压�?/span>

微米结构压印

聚合物粘吇�/span>

举例９�/span>

纳米结构压印

微结构压�?/span>

硅片上纳米间距的光栅压印

在软性的基材上压印（妁�/span>III-V材料＋�/span>InP（�/span>

印章生产

高纵横比结构的热压印

聚合物热压印

热聚合物粘合

要求９�/span>

现场安装的技术要汁�/span>

压缩干燥空气或氮气压劚�/span>6-11bar，外徃�/span>6mm连接器，流量至少应该1/2标准L/min：�/span>

�?/span>10mm外径连接器中，真空度优于0.1mbar（如果有真空选项）；

功率９�/span>110-240V (50-60HZ� 大于200W)：�/span>

环境

应安装在干净、无尘和无颗粒的环境，以达到**效果：�/span>

工作温度范围10-35ℂ�/span>：�/span>

工作湿度范围30-70%：�/span>

其他

增压器：如果你的实验室不能提供高亍�/span>6 bar的压缩空气压力，NILT可以提供一个增压器，可以将3-5 bar加到6-10 bar：�/span>

真空泵选项９�/span>NILT建议使用Edwards nXDS6i干式涡旋真空泵。任何其他相似或更好规格的泵也可正常工作：�/span>

规格９�/span>

压力９�/span>0.3-11bar

温度：高辽�/span>200ℂ�/span>，精�?/span>+/-1ℂ�/span>，可选高温模块，适用亍�/span>250ℂ�/span>

紫外线曝先�/span>:�?/span>120mm腔室�?/span>，波长为365mm戕�/span>405 nm的紫外线LED灯，光功率为12 W＋�/span>�?/span>210 mm腓�/span>室中丹�/span>~100mW/cm2戕�/span>~165mW/cm2皃�/span>光功率为57W

真空９�/span>可将腔室抽真空至低于1mbar的压劚�/span>

腔室尺寸９�/span>-直径120毫米，高�?/span>20毫米(**可扩展到45毫米)

-直径丹�/span>210毫米，高�?*丹�/span>20毫米(无法扩展)

自动复制过程：手动装载印章和基材;通过CNI软件控制，整个复制过程完全自动化软件９�/span>全程控制和灵活�?/span>除了装载和卸载之外的所有东西都由软件处琅�/span>

CNI定制� 可根据您的需求定刵�/span>

在线视频说明：在线安装视频和操作提示

可选项９�/span>增压器可将实验室压缩空气供应仍�/span>3-5bar提升臲�/span>6-10bar，由NLT人员进行培训咋�/span>/或安裄�/span>