Scribe Model 200-6适用于在6英寸晶圆上分割元件。功能强大的，无振动，操作简单，无需过多培训即可使用。包括数字十字准线的视频集进行垂直定向； LCD屏幕可显示参数，可通过编程轮进行选择、�/span>

磨削夳�/span>

? Z轴运动，可调节角�?/span>

?可调节划线力仍�/span>10gr�?/span>250gr，恒里�/span>

?金刚石工具：可调节角度和旋转

?刀具偏置，十字准线

?精度９�/span>��5��m

晶圆

?晶圆片直徃�/span>6''

?真空吸附

?框架/环形适配�?/span>

?电动夹头旋转

?夹头旋转对准＋�/span>90�?/span>/可编稊�/span>

?X Y轳�/span>/分辨玆�/span>1��m;精度��5��m

?无振动设讠�/span>

?通过渐进式操纵杆控制运动

视觉系统

?光学放大倍率，与其他应用兼容

?视野：标凅�/span>1mm

?TFT显示�?/span>17''咋�/span>CCD彩色高清摄像朹�/span>

?目标发生�?/span>

?LED照明

参数

?步骤指数

?Y划线速度仍�/span>1�?/span>100毫米/科�/span>

?划线长度可编稊�/span>

?重复划线

?划线数量

?多指数功胼�/span>

?削减计数�?/span>

技术规栻�/span>

功率９�/span>100 / 230VAC＋�/span>500watt

气压９�/span>70psi

真空９�/span>60＄�/span>

尺寸９�/span>650x700x500mm＇�/span>26''x28''x20''（�/span>

重量９�/span>70kgr、�/span>