MicroXact的半自动探针台提供多种选择，包括加�?冷却晶圆卡盘，标准或数字显微镜以及可编程平台分度，为您的所有高效设备表征提供经济高效且易于使用的解决方案。晶圆级可靠性测试需求。这些半自动探针台有三种选择（标准，高精度和高速）、�/span>

光滑的粉末涂层钢板可容纳多达10个磁性或真空定位器、�/span>

通过位于站两侧的终端隔离馈通，可以方便地连接微定位器，可以丹�/span>BNC＋�/span>Triax戕�/span>Banana插头连接进行定制、�/span>

标准吊杆安装组件，用于显微镜的全范围XYZ定位、�/span>

可用的高分辨率微定位器，�?/span>80TPI螺钉，用于探针的��m级定位、�/span>

可用皃�/span>RF选项包括可定制的RF探头＋�/span>RF偏置卡盘和屏蔽罩、�/span>

高分辨率复合显微镜、�/span>

偏光显微镜、�/span>

广泛的相机选择、�/span>

射频可偏置卡盘和屏蔽罩、�/span>

抛光镀金可调节真空吸盘、�/span>

超完全真空泵、�/span>

标准半自动化系统

电动XY夹头＋�/span>SPS-2600中的电动压板＋�/span>SPS 2800中卡盘的电动Z轴运动，标准配置、�/span>Motorized theta是一种选择、�/span>

基于步进电机，无编码器、�/span>

**成本竞争劚�/span>

强烈推荐用于需要低亍�/span>0��C的测试或屏蔽的应�?/span>

可用选项：加热或冷却卡盘，变焦镜或复合显微镜，各种屏蔽，用于直流和射频测量的卡盘选择等等

型号	SPS-2800	SPS-2600
晶圆尺寸	高达200mm	高达100mm
电机类型	步进电机
XY舞台行程	高达200mmx200mm	高达125mmx125mm
XY舞台分辨玆�/span>	电动＋�/span>6.5��m重复�?/span>
显微镛�/span>	高品质立体声变焦，工作距离可辽�/span>200mm，放大倍率范围丹�/span>3.5X臲�/span>180X
馈通终�?/span>	BNC＋�/span>Triax或香蕉插夳�/span>
系统尺寸	122厘米宼�/span>x122厘米淰�/span>x 92厘米髗�/span>		78厘米宼�/span>x80厘米淰�/span>x 58厘米髗�/span>