SPS-1000，SPS-2000和SPS-2200系统是MicroXact首要的手动探针台，设计灵活且易于使用。这些手动探针系统的高性能和经济性使它们属于自己的一类。凭借高�?00mm的晶圆功能，DC或RF探头和可选的热卡盘以及各种屏蔽选项，我们的探针台可用于广泛的应用，例如故障分析，可靠性测试，IV / CV测试，低目前的测试，微波和射频表征等等、�/span>

使用MicroXact手动探针�?/strong>进行IV，CV和低电流测试，可提供半导体器件表征所需的精确和精确测量。由于提供多种选项咋�strong>MicroXact手动探针�?/strong>的灵活性，晶圆上的晶圆级电容和低电流测试从未如此简单、�/span>

特征

手动平台组装可提供额外的预载滑块，便于装载和卸载晶圆或样品、�/span>

手动控制压板和卡盗�/span>Z位置，进行粗调和微调、�/span>

光滑的铸钢压板可容纳多达10个磁性或真空定位器、�/span>

同轴和三轴卡盘以及外壳可用于低泄漏电流测试、�/span>

标准吊杆安装组件，用于显微镜的全范围XYZ定位、�/span>

可用的高分辨率微定位器，�?/span>80TPI螺钉，用于探针的��m级定佌�/span>

可用的高分辨率微定位器，�?/span>80TPI螺钉，用于探针的��m级定位、�/span>

可用皃�/span>RF选项包括可定制的RF探头＋�/span>RF卡盘和屏蔽罩、�/span>

型号	SPS-1000	SPS-2000	SPS-2200
晶圆尺寸	高达150mm	高达100mm	高达200mm
XY舞台行程	100mmx100mm戕�/span>150mmx150mm标准	高达125mmx125mm	高达200mmx200mm
系统尺寸		56厘米宼�/span>x 51厘米淰�/span>x 61厘米髗�/span>	92米宽x 122厘米淰�/span>x 92厘米髗�/span>
系统重量		35kg臲�/span>45kg，具体取决于所选的选项	~70公斤