光谱椭偏�?/span>DUV-VIS-NIR

光谱椭偏仪可配置仍�/span>DUV�?/span>NIR的波长范围、�/span>DUV范围可用于测量超薄膜，如纳米厚度范围。比如硅晶片上的原生氧化物，其通常仅为�?/span>1臲�/span>2nm厚。当用户需要测量许多材料的带隙时，深紫外光谱椭偏仪也是必不可少的。可见或近红外范围用于测量相对厚或非常厚的涂层。当然，如果必须确定光学常数，则应将工具的波长范围配置为该范围。其他配置，如波长分辨率，角度范围等，将根据所需的应用进行考虑、�/span>

光谱椭偏仪特征：

?基于Window软件，易于操作；

?先进的光学设计，实现zui佳系统性能：�/span>

?高功玆�/span>DUV-VIS-NIR光源，适用于宽带应用；

?基于阵列的探测器系统，确保快速测量；

?用户可以根据需要定义任意数量的图层：�/span>

?能够用于实时或在线厚度，折射率监测；

?系统配有全面的光学常数数据库：�/span>

?高级TFProbe 3.3.X软件允许用户对每个胶片使�?/span>NK表，色散或有效介质近似（EMA）；

?三种不同的用户级别控制：工程师模式，系统服务模式和简易用户模式；

?灵活的工程模式，适用于各种配方设置和光学模型测试：�/span>

?强大的一键式按钮解决方案，用于快速和常规测量：�/span>

?可按照用户偏好配置测量参数，操作简便；

?系统全自动校准和初始化；

?直接从样品信号获得精确的样品对齐接口，无需外部光学元件：�/span>

?精确的高度和倾斜程度调整：�/span>

?适用于许多不同类型的不同厚度的基材；

?各种选项，附件可用于特殊配置，如绘图阶段，波长扩展，焦点等；

?2D咋�/span>3D输出图形以及用户数据管理界面：�/span>

光谱椭偏仪应用：

?半导体制造（PR，氧化物，氮化物......（�/span>

?液晶显示器（ITO＋�/span>PR＋�/span>Cell gap ......（�/span>

?法医学，生物学材斘�/span>

?油墨，矿物学，颜料，调色剁�/span>

?制药，医疗器�?/span>

?光学涂层＋�/span>TiO2＋�/span>SiO2＋�/span>Ta2O5 ......

?半导体化合物

?MEMS / MOEMS中的功能薄膜

?无定形，纳米和硅晶圆

?太阳能电池薄膜，CdTe＋�/span>CdS＋�/span>CIGS＋�/span>AZO＋�/span>CZTS ....

光谱椭偏仪技术参数：

型号	SE200 (DUV-Vis)	SE300 (Vis)	SE450 (Vis-Nir)	SE500 (DUV-Vis-Nir)
探测器类垊�/span>	CCD戕�/span>CMOS阵列	CCD戕�/span>CMOS阵列	CCD戕�/span>CMOS咋�/span>InGaAs阵列	CCD戕�/span>CMOS咋�/span>InGaAs阵列
波长范围＇�/span>nm（�/span>	190臲�/span>1100	370臲�/span>1100	370-1700	190-1700
波长炸�/span>	测量波长范围和波长数据点均在用户配方中自定义（数据点仅受分辨率限制）
波长分辨玆�/span>	0.01 -3nm	0.01 -3nm	0.01臲�/span>3nm	0.01臲�/span>3nm
数据采集时间	100毫秒�?/span>10秒，用户自定么�/span>
入射角范図�/span>	20臲�/span>90�?/span>
入射角分辨率	带手动测角仪皃�/span>5度预设步骤，用于SExxx-BM配置; 程序控制0.001度分辨率，配有自动测角仪，适用亍�/span>SExxx-BA配置
偏光光学	旋转偏振器，分析器和/或补偿器的组吇�/span>
光束尺寸	准直光束，光束尺寸可�?/span>1臲�/span>5mm范围内调节光圇�/span>;可选的聚焦光束模式（可拆卸）可用于减小光斑尺寸
光源	＇�/span>D2 + TH（�/span>/氘�/span>	TH	TH	＇�/span>D2 + TH（�/span>/氘�/span>

其他型号９�/span>

红外光谱椭偏�?/span>TFProbe IRSE

光谱椭偏仪显微分光光度计 SE-MSP

光谱椭偏� SE-SOLAR太阳能光伎�/span>

光谱椭偏仪带自动监测 SE200BM，SE300BM和SE500BM

显微分光光度计DUV-VIS-NIR MSP100/MSP300/MSP400/MSP450/MSP500