真空快速退火炉AS-One

AS-One是一种通用皃�/span>RTP系统，可用于开发快速热退火和快速热CVD工艺、�/span>

可以搭配分子泵实现高真空下热处理工艺、�/span>

**温度1500℃，*快升温速率200ℂ�/span>/Second、�/span>

全程PC软件控制升温程序，保证温度不过冲，控温精度准确、�/span>

应用９�/span>

?RTA（快速热退火）

?RTO（快速热氧化（�/span>

?欧姆接触退�?/span>

?植入退�?/span>

?石墨烯和hBN的快速热化学气相沉积RTCVD

?硒化，硫匕�/span>

?结晶和致密化

产品特点９�/span>

1�?/span>红外卤素灯管加热，冷却采用风冷（低噪音水平，无需压缩空气）；

2、加热由功率控制而非电压控制，避免了由于灯丝老化电阻改变导致的后续使用中加热不均的问题，保证了良好的重现性及均温性，即使在后续使用过程中更换了部分新的灯管也可以达到*初的热处理效果；

3、石英腔体，腔体冷却采用水冷，冷壁设计，双层不锈钢；

冷壁水冷技术优点在于：1、无记忆＋�/span>2、工艺重复性高＋�/span>3、冷却速度快；

4、反应腔室的设计，气体的进入口设计在wafer的表面，避免在退火过程中冷点的产生。很好的保证了样品在加热过程中的均温性；

5、快速数孖�/span>PID控温：�/span>

6、热电偶配合高温计控温，测试样品的温度，控温精准：�/span>

7、大气和真空工艺均适合，净化气体配针阀：�/span>

8�?夙�/span>5路工艺气体，配数字质量流量控制器：�/span>

9、电脑通过以太网连接更快的数据传输速度：�/span>

10、可选配石墨托盘表面涁�/span>SiC薄膜设计，用于小样品测试：�/span>

11、可选配分子泵，用于高真空测试；

产品标准配置及规格参数：

1、样�?*尺寸９�/span>AS-One100９�/span>4-inch：�/span>AS-One150９�/span>6-inch：�/span>

2、温度范围：AS-One100室温~1250℃；（室�?/span>~1500℃可选）

AS-One150室温~1200℃；（室�?/span>~1300℃可选）

3、升温速率９�/span>AS-One100９�/span>0.1ℂ�/span>~250ℂ�/span>/s：�/span>

AS-One150９�/span>0.1ℂ�/span>~200ℂ�/span>/s：�/span>

4、温度控制：快速数孖�/span>PID控制：�/span>

5、热电偶９�/span>2�?/span>K型热电偶：�/span>

6、低温高温计温度范围９�/span>150ℂ�/span>~1100℃；

7、高温高温计温度范围９�/span>400ℂ�/span>~1500℃；

8、工艺气体气路配质量流量讠�span>：�/span>

9、配置真空泵及真空规：�/span>