湿法显影掩膜版清洗系绞�/span>

手动垊�/span>SCS112

SCS112型是一款高效率手动型的系统，专门设计用于在划片或划片后清洗晶片。可通过施加高压DI水射流或雾化喷嘴来清洁安装在环（抓环）或胶片框架上的晶圆，然后使用高转速，氮气辅助或红外加热灯进行快速干燥。该系统**可处琅�/span>8英寸晶圆、�/span>

功能９�/span>

• 可处理高辽�/span>8英寸的晶圆，包括未安装的晶片以及胶带环形和薄膜框架安装晶片、�/span>

• 振荡高压直流水，风扇射流组装(取决于高辽�/span>1500戕�/span>2000磄�/span>/平方英寸配置三�/span>)或雾化喷雾喷嘴，高效清洁、�/span>

• 快速有效干燥的氮气吹扫和循环结束时的氮晶片提升、�/span>

• 微处理器控制并储存多种配方、�/span>

• 直流无刷主轴电机变速、�/span>

• DI水净化，营造无细菌系统、�/span>

• 内置安全联锁和正极盖，运行期间锁定、�/span>

选项�

• 托盘�?*可装轼�/span>8英寸晶片

• 用于干燥的红外线加热�?/span>

• 消除静电的二氧化碳再生离子器

• 内置排气鼓风朹�/span>

• 真空发生�?/span>

产品参数９�/p>

• 产品：晶圆，光掩膜和基板清洁系统

• 型号９�/span>SCS112

• 可用机械臂：1

• **基板尺寸：高辽�/span>8英寸的晶圆片

• **主轴速度９�/span>2500

• 配方�?夙�/span>3

• 分配９�/span>1

• 尺寸９�/span>26英寸宼�/span>x 21英寸淰�/span>x 40英寸髗�/span>

• 重量：约200磄�/span>

• 功率９�/span>220伏交流电＋�/span>10安培＋�/span>50/60赫兹

手动垊�/span>SCSe124

SCSe124型是用于光掩模，晶圆和基材的亚微米级清洁的理想解决方案。该系统非常可靠且具有成本效益，它经过验证，拥有各种清洁技术、�/span>SCSe124可以配置几种不同的清洁选项，包括高厊�/span>DI水，雾状喷嘴，刷子，Megasonic喷嘴等等。快速有效的干燥技术是结合了可变转速和可选项加热DI水，氮气辅助或加热灯、�/span>SCSe124具有微处理控制器，该控制器可调整过程参数，并储存多达10个程序、�/span>

功能９�/span>

• 可处理直径高辽�/span>10英寸的基板、�/span>

• 主轴组件带有直流无刷电机（可升级以获得更多功能）、�/span>

• 可调节机械臂速度和行程位置、�/span>

• 径向排气腔，可实�?*层流、�/span>

• 独立式聚丙烯腔室、�/span>

• 微处理器可控刵�/span>10个程序段、�/span>

• 内置安全联锁、�/span>

• 按钮盖启�?/span>打开/关闭、�/span>

• 触摸屏图形用户界面（GUI），易于编程和安全锁定以及屏幕错误报告、�/span>

• *多可使用2个机械臂、�/span>

产品参数９�/p>

• 产品：晶圆，光掩膜和基板清洁系统

• 型号９�/span>SCSe124

• 可用机械臂：2

• **基板尺寸：直徃�/span>10英寸晶圆牆�/span>

• **主轴速度９�/span>2500

• 配方�?夙�/span>10

• 分配９�/span>12

手动垊�/span>SCSe126

SCSe126型是用于光掩模，晶圆和基材的亚微米级清洁的理想解决方案。该系统非常可靠且具有成本效益，它经过验证，拥有各种清洁技术、�/span>SCSe126可以配置几种不同的清洁选项，包括高厊�/span>DI水，雾状喷嘴，刷子，Megasonic喷嘴等等。快速有效的干燥技术是结合了可变转速和可选项加热DI水，氮气辅助或加热灯、�/span>SCSe126具有微处理控制器，该控制器可调整过程参数，并储存多达10个程序、�/span>

功能９�/p>

• 可处理直径高辽�/span>10英寸的基板、�/span>

• 主轴组件带有直流无刷电机（可升级以获得更多功能）、�/span>

• 可调节机械臂速度和行程位置、�/span>

?径向排气腔，可实�?*层流、�/span>

?独立式聚丙烯腔室、�/span>

?微处理器可控刵�/span>10个程序段、�/span>

?内置安全联锁、�/span>

?按钮盖启�?/span>打开/关闭、�/span>

?触摸屏图形用户界面（GUI），易于编程和安全锁定以及屏幕错误报告、�/span>

?*多可使用4个机械臂、�/span>

产品参数９�/p>

• 产品：晶圆，光掩膜和基板清洁系统

• 型号９�/span>SCSe126

• 可用机械臂：4

• **基板尺寸：直徃�/span>10英寸晶圆牆�/span>

• **主轴速度９�/span>2500

• 配方�?夙�/span>10

• 分配９�/span>12