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M-SPIN 200 Spin Coater匀胶旋涂仪
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M-Spin 200匀胶旋涂仪是用于均匀涂覆和干燥晶圆片或衬底。该匀胶旋涂仪适用于直?*丹/span>8英寸的晶圆片,或丹/span>6英寸x 6英寸的衬底。它可使用分配臂全自动工作,分配移动托盘,可定义数量。该匀胶旋涂仪配备了顶盖的联锁机制,和可视化全图形触摸面板、/span>M-Spin 200匀胶旋涂仪包含一个内置模块,该模块连接到柔性电缆,外接到一?/span>19英寸外部控件上、/span>

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