BASIXX ST20+＇�/span>?200毫米）台式旋涂机＋�/span>带电动介质臂

BASIXX ST20＇�/span>?200毫米）台式旋涂机

BASIXX ST20+实验宣�/span>台式匀胶机

是一款紧凑的旋涂，显影，清洁和干燥半自动系统，旨在为科学和研究领域的用户提供高效，安全和清洁的实验室系统� 该设备具有易于使用的界面�?英寸彩色触摸屏� 该软件包�?/span>程序菜单管理，例如编写，编辑，保存和加载� 服务区提供用于手臂和旋转板以及介质控制的设置选项� 还集成了可通过USB保存的软件更新功能以及日志文件和程序备份功能、�/span>

特点９�/span>

��直驱无刷微调电机

��全轴电机驱动且完全可编程

��具有程序菜单管理功能的软件控刵�/span>

��带安全中断传感器的透明盕�/span>

��旋转器盖传感器控刵�/span>

��通过触摸屏或按钮启动程序

��7英寸彩色触摸屎�/span>PP制成的处理碗和台式外売�/span>

��外壳上的电源开兲�/span>ON / OFF

��配备标准的水坑喷嘳�/span>＋�/span>通过水坑喷嘴注入溶剂

��可拆卸处理碗和飞溅环＋�/span>便于清洁

��可处琅�/span>圆形晶片＋�/span>尺寸**丹�/span>?200mm＇�/span>?8英寸（�/span>

��可处琅�/span>方形基板＋�/span>尺寸**丹�/span>150 x 150毫米＇�/span>6 x 6英寸（�/span>

��标配*多安裄�/span>3个介质管纾�/span>/喷嘴（可选：*夙�/span>5个介质管纾�/span>/喷嘴（�/span>

��可视真空控制�?/span>

��真空阀块和传感器的安全性由程序启动和系统运行来控制

���?/span>0.5 Itr皃�/span>废液瓵�/span>

��可选的�?/span>Z轴移动和PR分配系统的电动介质臂

��可作为台式安装，也可偙�/span>独立装置使用

��简单且经济高效

��专为研究所，实验室和基础研发而设讠�/span>

应用亍�/span>：旋涂，显影，清洁和干燥

产品参数９�/span>

可处理衬应�/span>尺寸：直�?*丹�/span>?200mm＇�/span>?8英寸（�/span>圆片，或**丹�/span>150 x 150毫米＇�/span>6 x 6英寸（�/span>方片：�/span>

旋转速度�?*10＋�/span>000rpm *，（�?/span>rpm步长为单佌�/span>）；

加速度�?*4.000 rpm / sec *：�/span>

处理时间９�/span>1臲�/span>999�?sec，以0.1秒为步；

处理碗：可更换，聚丙烯（PP）材�?/span>

腔体：白色（PP）材�?/span>

固定晶圆片或衬底的装置：真空托盘：�/span>

电源９�/span>230＇�/span>208（�/span>VAC / 1Phase/ N / PE / 50＇�/span>60（�/span>Hz

真空９�/span>-0.8 bar / -600 Torr，管夕�/span>直径6 mm

排气-过程９�/span>1x外径38毫米，约30立方籲�/span>/小时

氮气（可选）９�/span>4圞�/span>0.2 bar＋�/span>PFA管外徃�/span>6 mm

CDA（可选）９�/span>8圞�/span>2bar，管外径8mm、�/span>

选配顸�/span>９�/span>

适用各种尺寸大小的托盗�/span>

分配臁�/span>

泴�/span>