AFIXX20m手动系统

台式系统设计用于手动将单个基板临时粘合到刚性载体或其他载体上。适用于非常薄的易碎基材和柔性塑料材料、�/span>专为实验室开发的临时粘合技术。这是一个多功能系统，非常适合许多R％�/span>D应用程序、�/span>AFIXX 20m配备有加热板，可将载体或基材加热�?/span>200℃、�/span>

特点９�/span>

适用于圆形晶圅�/span>牆�/span>或方形基片；

培�/span>牆�/span>尺寸９�/span>**到直徃�/span>200mm＇�/span>直径8英寸）或150x150 mm＇�/span>6 x6英寸（�/span>＋�/span>圆形晶圆牆�/span>可选：直径300毫米＇�/span>直径12英寸（�/span>：�/span>

带加热板�?*200ℂ�/span>：�/span>

适用于非常薄的易碎晶圆（<40 um）和柔性塑料材斘�/span>：�/span>

激光标记可准确对准晶圆和载佒�/span>：�/span>

手动调节水平：�/span>

与硅，化合物和玻璃材料兼宸�/span>：�/span>

专为研发和小批量生产而设讠�/span>：�/span>

应用９�/span>

将基材临时粘合到不同类型的载体上９�/span>

基板上的基板

玻璃载体上的基板

蓝宝石载体上的基松�/span>

陶瓷载体上的基材

不同的粘合剂，例如：

蜡＞通过热处理激洺�/span>

粘合剁�/span>>取�/span>温度和溶剁�/span>皃�/span>影响＋�/span>活化

产品参数９�/span>

基板尺寸�?*直径200mm＇�/span>直径8英寸）或150x 150 mm＇�/span>6 x 6英寸（�/span>

设备夕�/span>壳：PP材质

工作台表靡�/span>：微抛光不锈钢和阳极氧化铜�/span>材质

电源９�/span>230＇�/span>110（�/span>VAC / 1Phase/ N / PE / 50＇�/span>60（�/span>Hz

真空９�/span>-0.8 bar / -600 Torr，管外径8 mm，内徃�/span>6 mm

控制台：350x 350 x 372毫米＇�/span>13.8 x 13.8x 14.6英寸（�/span>

加热板模块：350x 411 x 207毫米＇�/span>13.8 x 16.2x 8.2英寸（�/span>

主营产品９�/span>

Laurell匀胶机

Harrick等离子清洗机

Thetametrisis膜厚�

Microxact探针�?/span>

ALD原子层沉积系绞�/span>

TRION反应离子刻蚀朹�/span>

Uvitron紫外固化箰�/span>

NXQ紫外曝光光刻�

Novascan紫外臭氧清洗朹�/span>

Nilt纳米压印朹�/span>

Wenesco/EMS/Unitemp/NDA加热�

Annealsys高温退火炉

Kinematic程序剪切�?/span>

Laurell EDC系统，湿站系�

Wabash/Carver自动压片朹�/span>