GC8800系列

高纯气杂质PDHID分析

高纯氦杂质分枏�/p>

H2，O2，Ar，N2，CO2，CH4 *小检测量优于 20ppb

高纯二氧化碳杂质分析

H2，O2，Ar，N2，CH4 *小检测量优于 20ppb

高纯氢杂质分枏�/p>

N2，H2，CH4，CO2，CO*小检测量优于 20ppb

下列仪器关键部件均由美国VICI等公司进叢�/p>

PDHID检测器

氦气纯化�?/p>

流路系统

样品过滤�?/p>

色谱柰�/p>

GC8802

SF6杂质单柱PDHID分析

色谱�?/p>

分析SF6中CO，CF4，CH4，CO2，C2F6，SF6，SO2F2，C3F8

GC8803

含氟气体分析专用色谱

一次进样后完成全分枏�/p>

检测器：高灵敏度、耐腐蚀的TCD

进样：VICI自动采样阀技�?/p>

采样：无死体积采样或在线采样

方式，一次性完成常见杂质检测、�/p>

重复性：RSD�?％、�/p>

检出限：H2-100ppm; F2-100ppm; Kr-500ppm; HCL-500ppm