仪器特点９/span>
稀释气质量流量计可控制?/span>0-10SLM：/span>
源气质量流量计可控制?/span>0-100SCCM：/span>
4路校准气入口咋/span>1路吹扫口：/span>
1路稀释气入口＋/span>5路输出口咋/span>1路排空口：/span>
55个按键薄膜键盘；
24位数字输?/span>/输出＋/span>
2路串行通讯输出＋/span>RS232输出：/span>
大而明亮的彩色显示器；
外部PC键盘接入端口：/span>
并行打印端口：/span>
空气源控制端口、/span>
性能参数９/span>
稀释入口：1路标准；
源气入口９/span>4路标准，1路吹扫；
稀释流量：0-10SLM＇/span>0-20SLM可选）：/span>
源气流量９/span>0-100SCCM/0-10000SCCM：/span>
流量精度９/span>?#177;1%FS：/span>
流量重复９/span>?#177;0.15%FS：/span>
纾/span>性：?#177;0.5%FS：/span>
入口压力９/span>20-35 PSIG：/span>
多路输出：标凅/span>6个输出口：/span>
内置臭氧发生器参数：
输出９/span>5SLPM上/span>0.05-1.5ppm：/span>
精度９/span>1%SP戕/span>5SLPM上/span>2ppb：/span>
流量９/span>1001 SCCM：/span>
紫外灯温度：500.1℃、/span>
内置紫外吸收光度计参数：
量程９/span>0-0.5＋/span>1.0＋/span>2.0ppm：/span>
线性：1ppb戕/span>1%FS：/span>
精度９/span>1ppb：/span>
零点漂移９/span><1ppb/24小时戕/span>30天；
流速：1.0 LPM：/span>
模拟输出９/span>0-0.1/1/5V、/span>
内置稀释炉参数９/span>
材质：玻璃或特氟龙；
尺寸９/span>1个稀释管：/span>
可调温度：高于环境温?/span>5度到65度；
温度精度９/span><0.1℃；
操作９/span>55个按键，键盘或串行端口；
校准定义９/span>20个工厂定义流路；
校准类型：气体稀释，臭氧＋/span>GPT：/span>
气体定义９/span>2个稀释气＋/span>20个源气；
自动校准９/span>20个程序驱动定时，
7天事件，用户可自定义：/span>
