仪器特点９�/span>

稀释气质量流量计可控制�?/span>0-10SLM：�/span>

源气质量流量计可控制�?/span>0-100SCCM：�/span>

2路校准口入口咋�/span>1路吹扫口：�/span>

1路稀释气入口＋�/span>3路输出口咋�/span>1路排空口：�/span>

42个按键薄膜键盘；

8位数字输�?/span>/输出＋�/span>1路串行输出；

彩色大屏显示＋�/span>

性能参数９�/span>

稀释入口：1路标准；

源气入口９�/span>1路标准，1路吹扫；

稀释流量：0-10SLM(0-20SLM可逈�/span>)：�/span>

源气流量９�/span>0-100SCCM＇�/span>0-2SLM可选）：�/span>

流量精度９�/span><1%FS：�/span>

流量重复９�/span><��0.15%FS：�/span>

纾�/span>性：<��0.5%FS：�/span>

入口压力９�/span>12-35PSIG：�/span>

集成输出９�/span>3路输出，1路放空（1路渗透端可选）：�/span>

擌�/span>作：42按键薄膜键盘手动输入或外接键盘；

校准定义９�/span>20个工厂配置流路，每个流路�?*20个线性点：�/span>

校准类型：稀释气，臭氧，GPT：�/span>

气体定义９�/span>1路稀释气＋�/span>20路源气；

自动校准：可驱动20路定时程序，用户可自定义：�/span>

数字输入/输出：可使用触点触发戕�/span>TTL逻辑控制皃�/span>8位校准功能；

這�/span>讯：RS232＋�span>以太罐�/span>TCP/IP可选；

�?/span>度：5-40℃；

外形尺寸９�/span>156mm＇�/span>H�?#215;364mm(W)��316 mm (D)：�/span>

51�?1);font-size:10.5000pt;" >天事件，用户可自定义：�/span>

里�/span>量：8.6kg：�/span>

甴�/span>源：98-264VAC＋�/span>100VA＋�/span>50/60HZ、�/span>