UEFC-4900

UEFC-4900是UEFC-5700的紧凑版。该系统的源基间距和腔室角度专门�?50mm晶圆工艺做了优化设计、�/span>

强大的中等生产设夆�/strong>
UEFC-4900是用于lift-off工艺的� 高均匀性的� 中等产能的蒸镀设备� Auratus方法论提高了有效的薄膜沉积速率，使得客户能更快的制造晶圆� 与传统的箱体式镀膜机相比� UEFC-4900具有以下特点９�/span>
· 大的装片量－25�?50mm晶圆
· 在不增加设备占地和功耗的情况下获得额外的40％晶圆装片量
· 15分钟内抽真空�?E-07Torr
· 高真空泵水蒸气总抽�?6500L/s
· 显著减少的腔室体积和内表面积

UEFC-5700
UEFC-5700是一款采用Auraus薄膜沉积工艺改进方法论的Temescal系统，极大地改善了lift-off镀膜工艺� 不使用或仅使用极小型的均匀性修正板即可获得很好的均匀性，并且还能减少高达40％的材料消耗、�br/>
超高产能的设夆�/strong>
UEFC-5700是用于lift-off工艺的高产能的蒸镀设备� Auratus方法论提高了有效的薄膜沉积速率，使得客户能更快的制造晶圆� 与传统的箱体式镀膜机相比，UEFC-5700具有以下特点９�br/>· 超大的装片量�?2�?50mm晶圆
· 在不增加设备占地和功耗的情况下获得额外的40％晶圆装片量
· 10分钟内抽真空�?E-07Torr
· 高真空泵水蒸气总抽�?4000L/s
· 显著减少的腔室体积和内表面积