苏州博宏源设备股份有限公号/a>
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9BF-1M5L精密双面平面研磨朹/div>
报价９span>面议
品牌９/td> 苏州博宏溏/td>
产地９/td> 江苏
关注度： 98
型号９/td> 9BF-1M5L精密双面平面研磨? 9BF-1M5P精密双面平面抛光朹/td>
核心参数

工作原理９span>其他

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产品介绍

一、主要用逓/strong>

　　本机主要通用于硅片、光学玻璃、陶瓷片、石英晶体、半导体及其他硬脆材料的高精度双面研磨抛光、/p>

　　1、压力精密控制：PLC+PT+精密减压所实现压力开环控刵

　　3、精密传动系统：高精度小齿隙全齿轮传?

　　4、下盘支撑：高精度平面流体轴承支撐

　　5、销齿传动内外齿采用销齿传动，延长载体使用寿命维护便捷;

　　6、传动系统：三电机同步拖动，上盘、下盘和齿圈、太阳轮(即可正转，也可反?转速可任意设足，县有配方功胼/p>

　　二、技术参?/strong>

序号 项目 规格参数
1 上下盘尺寷/td> Φ640mm×Φ235mm×30mm(研磨)
Φ640mm×Φ235mm×30mm(抛光)
2 游星?/td> 参数 Z=114，DP12，ΰ20
数量 5?/td>
3 驱动电机 4.0kW AC380V 50Hz 1460rpm(研磨)
5.5kW AC380V 50Hz 1460rpm(抛光)
4 下盘转逞/td> 0~60rpm
5 精度指标 上、下盘平面度 ?.015mm
下盘端跳 ?.05mm
6 加工范围 **加工尺寸 Φ150mm
*小加工厚?/td> 0.15mm(?"片）
整盘承载野/td> 9×5=45片（2" 圆片（/td>
7 水源
纯水或自来水
8 电源 功率 5.0kW AC380V 50Hz (研磨)
6.5kW AC380V 50Hz (抛光)
线缆规格 三相五线刮．3×4mm²+2×2.5mm²
9 气源 压力 压缩空气?.4-0.5Mpa
接管口径 接口Φ10mm（外径）
10 外形尺寸
宽×长×高：1040mm×1400mm×2360mm
11 重量
?200Kg


问商宵/div>
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工商信息
企业名称

苏州博宏源设备股份有限公号/p>

企业类型

信用代码

91320507MA1MTCMG06

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