卧式氧化炈/div>
报价9span>面议
品牌9/td> 育豪微电孏/td>
产地9/td> 山东
关注度: 99
型号9/td> 卧式氧化炈/td>
核心参数

非金属电热元件:其他

金属电热元件9span>其他

烧结气氛9span>氧气

产品介绍

一、设备概述:

卧式氧化炉设备可应用于集成电路、分立器件 POWER MEMS等多种领域,适用?-8英寸晶圆芯片的氧化、扩散、GPP、退火、合金等工艺、/p>

氧化工艺是将硅片放置于氧气或水蒸气的氛围中进行高温热处理,在硅片表面形成氧化膜的过程,可作为离子注入的阻挡层及注入穿透层、表面钝化、器件结构的介质层等


二、设备参数类型:


设备性能指标

1

操作方式

根据客户操作可定?右手操作

2

管路?/p>

1-5箠/p>

3

加工晶圆尺寸

4-8寷/p>

4

适用工艺

扩散(磷扩、硼扩)、氧化(干氧、合成)、玻璃钝化(GPP)、退火、合金、铝预沉?/p>

5

工艺指标

氧化膜厚均匀性(膜厚5000Å(/p>

IW?%,W2W?%,R2R/D2D?%

6

温度校准功能

具有自动校准温区功能,具有预先写入偏差值快速拉温区功能

7

控温模式

Spike控温+Profile串级控温

8

控制系统结构

一体工控机+PLC

9

报警保护:

具有超温报警,断偶报警,气体互锁,气体缓启动等功胼/p>


问商宵/div>
  • 卧式氧化炉的工作原理介绍>/li>
  • 卧式氧化炉的使用方法>/li>
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  • 卧式氧化炉的操作规程有吗>/li>
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青岛育豪微电子设备有限公司为您提供育豪微电子卧式氧化炉,卧式氧化炉产地为山东,属于粉体焙烧炉,除了卧式氧化炉的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供在线式连续真空炉、磷化铟多晶合成炉、高温管式炉
工商信息
企业名称

青岛育豪微电子设备有限公号/p>

企业类型

信用代码

91370214679063197B

法人代表

注册地址

成立日期

注册资本

有效期限

经营范围

分类

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