详细参数
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仪器指标
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检测项?/strong>
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超高精密自动测角? PrismMaster HR MOT Goniometer)
测量工作台直徃Φ200mm;单次测量**精度:0.5";多次测量**精度:>0.2";测量范围:0°~360°任意角度;微调旋钮转动精调:+/-30′br style="outline: none; box-sizing: border-box; max-width: 100%; height: auto;"/> |
测量棱镜、多边棱镜、光楔、窗口以及其他平面光学器仵br style="outline: none; box-sizing: border-box; max-width: 100%; height: auto;"/> |
光学测量工作? Optical Test Station)
工作波长:525nm; 焦距:测量范围:-500mm~-5mm,+5mm~+500mm,重复?±0.04%~0.3%,精度:±0.04%~±0.3%
后截距及法兰焦距(BFL/FFL):测量范围:-500mm~-5mm,+5mm~+500mm,重复?±0.04%~0.3%,精度:±0.04%~±0.3%
曲率半径:测量范围:-500mm~-5mm,+5mm~+500mm,重复?±0.04%~0.3%,精度:±0.03%~±0.3%
驱动的XY台面:移动范围:200mm×150mm,分辨玆1μm
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测量柱面和球面透镜的：焦距 EFL ）、后截距及法兰焦距（ BFL , FFL ）、正/负曲率半径：对于柱面镜，额外测量功能：中心偏差（柱轴的顶线与参照面之间的偏差，参照面可为柱面镜的外沿面）、柱袖与机械参考线的扭转角度、br style="outline: none; box-sizing: border-box; max-width: 100%; height: auto;"/> |
通用途紫?可见光传递函数测试仪(IS-300 UV/VIS MTF TESTSYSTEM)
可测量参?MTF?*焦平面、场曲、象散、色差、畸变、EFL筈MTF测量精度:+/-0.02MIF;MTF测量重复?+/-0.01MTF;
场曲:优于+/-5μm;畸变:优于+/-0.5%;焦距测量范围:3mm~1000mm;**数值孔徃0.85
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在可见光及紫外波段对光学系统或光学组件的传递函数、焦距和畸变等参数进行测野br style="outline: none; box-sizing: border-box; max-width: 100%; height: auto;"/> |
镜面定位? LENSCAN System)
测量范围:0~600mm光学长度;测量精度:+/-0.15μm;测试重复?标准偏差 STDEV<100nm(30次测?
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主要用于光学系统中的透镜间隔和厚度测野br style="outline: none; box-sizing: border-box; max-width: 100%; height: auto;"/> |
超高精密全自动球径仪( Automatic Spherometer)
曲率半径测量精度:0.005%;半径测量范围:凷+3mm~无限;凸-6mm~无限
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用于高精度光学样板曲率半径测量和光学元件曲率半径检骋br style="outline: none; box-sizing: border-box; max-width: 100%; height: auto;"/> |
大口径激光干涉仪( Verifire XP/D Interferometer)
三平板重复?<2nm,λ/300;RMS重复?<0.1nm,λ/10?00；条纹分辨率:180条纹;分辨玆>λ/8?00 二次通过);相干长度:>100m
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精密测量各种反射面和光学系统的表面面形、精密测量光学系统的传输波前
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菲索型动态干涉仪( Intellium H2000 Interferometer)
测量元件反射率范図0.1%-100%;测试精度PV值优?00; 1K*1K空间分辨?优于300的条纹分辨率;相干长度:>328ft(100m)
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测量光学件表面、机械抛光表面和半导体晶片表靡br style="outline: none; box-sizing: border-box; max-width: 100%; height: auto;"/> |
椭偏? Ellipsometer)
光谱范围:190-1100nm;样品**直径:200mm;自动变角范围:15°~90°;单色光源的焦跜160mm
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用于研究分析半导体、电介质、聚合物、金属、多层膜等材料的特?可测量其透射、反射、相位延迟量、双折射、退偏、散射和穆勒矩阵筈br style="outline: none; box-sizing: border-box; max-width: 100%; height: auto;"/> |
TESA VISIO 300 GL同轴变焦型影像测量仪
XY平面精度:(2.0+4L/1000)μm,(L单位为mm);z轴精?2.9+5L/1000)μm,(L单位为mm);
测量范围300X200X150mm(X/Y/Z);工作台表面尺寷510x480m(X/Y);工作台承里16公斤;
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通过光学成像完成非接触测量，特别适合于冲压件,塑料件，注塑件和丝膜印刷,电子等行业的测量要求
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非球面检测仪( LuphoScan measuring system)
精度(光束入射角度<2°):抛光：Ra<1μm 1μm≤Ra?μm ±50mm ±250nm ±1μm ;测量范围:420mm(直径)×80mm(高度);
重复?±20nm(2σ);纵向分辨玆0.1nm;光斑大小:4μm;**测试口径:420mm
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用于旋转对称表面的光学镜片面形测?包括球面、非球面、平面、柱面、锥面等
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LAS激光定心装配工作台( Laser Alignment and Assembly Station)
测量精度:TIR 0.5um;直线导轨:1250mm;有效工作空间:1.0m;样品?Φ400mm;空气轴承,承重:900kg;
轴向/径向跳动精度:0.05m,轴晃?0.025um/25mm;高精度杠杆表:0.1um
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用于光学系统单元装配、系统调试过程中光学元件中心偏差的精密测量和校正
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粗糙度微轮廓? Surface Profiler)
测量范围:**可测直径Φ300mm;测量陡度:**可测70°;球面测量的重复?<100nm
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用于光学元件的表面粗糙度和面形测野/td> |
高级会员
已认?/p>
