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全自动激光全切设夆/div>
报价9span>面议
品牌9/td> 大族半导佒/td>
产地9/td> 广东
关注度: 73
型号9/td> 全自动激光全切设夆/td>
产品介绍

主要特点9/span>

设备特点9/span>

1、从源头及加工过程中良好地抑制粉尘、热影响、回熔、崩边等对晶圆品质造成影响的不利因素,极大提升产品的良品率

2、进一步提升加工能力,相较于传统切割能力,可应?00μm厚度以内的晶圆产品(不同材质切割效果会存在差异)

3、可选多?套光路系统方案,应对不同材料的分离工艹/span>

主要参数:


主要参数 设备外形 W*D*H(mm) 1140×1740×1750
X轳/td> Max.800 mm/s;直线度:±1.5μm@200mm
Y轳/td> Max.600 mm/s;重复性:±1μm
R轳/td> 行程?20°; 重复性:<3arcsec
Z轳/td> 行程?5mm;重复性:±1.5μm
视觉系统*2

高倍:42M pixel+6X镜头

低倍:130M pixel+2X镜头

激光器 10W@80KHZ
支持**加工尺寸 8"
占地(m²) 1.9836
重量(Kg) ?600




加工效果9/span>


●涂覅/span>

激光全切加工效果图1.png

◎/span>修边

激光全切加工效果图2.png
激光全切加工效果图3.png

◎/span>切割

激光全切加工效果图4.png
激光全切加工效果图5.png

◎/span>视觉系统

激光全切加工效果图6.png


问商宵/div>
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广东大族半导体装备科技有限公司为您提供大族半导体全自动激光全切设备,全自动激光全切设备产地为广东,属于切割机,除了全自动激光全切设备的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供碳化硅晶圆改质切割设备、去胶剥离机、刷片清洗机
工商信息
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广东大族半导体装备科技有限公司

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