设备特点９�/span>

• 1 电阻式碳化硅-单晶炉，电阻式石墨加热，改进型Lely方法的升华长晶技术，物理气相传输�?PVT)生长碳化硅单晶晶体；

• 2 采用前出料结构形式设备整体操作简单、布局合理，制造、装配过程均有严格品控；

• 3 主要组成部件：炉室组件、传动系统、加热系统、气路系统、真空系统、冷却系统、自动控制系统、报警系统、人机界面系统等：�/span>

• 4 自主研发的全自动计算机控制系统，可实现抽空、检漏、炉压、工艺气体流量控制、长晶过程的自动控制、�/span>

加热系统９�/span>

• 石墨加热器配置：上下两组独立石墨电阻加热�?独立温控，工艺亦可上下加热器同时温度 控制，上�?5KW修饰加热器可修饰坩埚径向温度梯度，主加热� 60KW x 2 控制轴向温度梯度

• 控制组件：PLC+PID（人机界面）

• 控制模式：温度控�?功率控制

• 温度检测：红外检测仪，上下各配置一个，上测温仪可移动量测坩埚边缘温度， 可以得到籽晶区径向温度梯�?/span>

• 加热功率：上方加热器15KW，下侧主加热�?0KW x 2

• **温度�?400ℂ�/span>

• 温控范围�?000-2400℃，精度：�?ℂ�/span>

• 温控功率精度：满量程范围内为设定值的±0.1% W

  
  

自动控制系统９�/span>

• 组成：集成机�?泵阀操作单元+真空测量单元+加热控制单元+提升旋转控制单元+水路 检测单�?进气及压力控制单�?报警单元

• 关键制程数据实时采集保存（温度、压力、加热功率、电流等，保存周期≥1年）

• 其他非关键设备参数实时采集保存（保存周期�?个月�?nbsp;

• 具备温度，压力，电流，功率等制程参数实时采集并生成曲�?nbsp;

• 报警记录，操作日志保存（保存周期�?个月�?nbsp;

• 可设定多组Recipe和离线编辑配置recipe

• 压力单位显示为torr

• 可远程监控设备运行状态，可与生产系统连接

• 具备用户登录及账户管理系统，可以为不同的账户分配不同的权陏�/span>