CFD系列精细流量调节的化学液补充系统
报价9span>面议
品牌9/td> 易威奆/td>
产地9/td> 广东
关注度: 26
型号9/td> CFD系列精细流量调节的化学液补充系统
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产品介绍

高分辨率

*小流量达1mL/shot,为晶圆清洗过程中所需的化学凝结控制,提供更高的准确性、/span>

CFD系列能提供准确流量,防止过量添加或液体浪费。此外,防虹吸设计防止意外吸入、/span>

耐腐蚀过流?/span>

氟材质口过流?PTFE / PFA / PCTFE)是能够处理半导体加工所用的强酸、强碱和双氧水、/span>

针对化学腐蚀,PTFE / PFA / PP / PVC材质外部零件和PTFE涂层螺丝能提供额外的保护、/span>

宽广的吐出率调节

打开底盖可轻松在1.0-2.7ml/shot之间调节冲程长度 (出厂默认设定?.0ml/shot)、/span>

配备泄漏传感?/span>

每台泵都配有泄漏传感器,可实时检测任何泄漏情况、/span>

**吐出野/span>

1 mL/shot

**吐出压力

0.05 MPa

**冲程玆/span>

30 spm

主要材质

PTFE, PFA, PCTFE

液体输送温度范図/span>

20 ~ 60 °C


问商宵/div>
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工商信息
企业名称

易威奇有限公号/p>

企业类型

信用代码

914401166184781290

法人代表

注册地址

成立日期

注册资本

有效期限

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