产品说明

全自动晶圆刷洗机QX-2000为半导体晶圆刷洗的专用设备，主要用于清洗衬底表面及背面的尘粒，设备仓位可根据客户要求配置。先用PVA刷子刷洗，配合二流体及化学液（根据客户要求配置），经甩干后可有效去除晶圆表面的粉尘颗粒等残留物、�/p>

产品优势

• 灵活

• � 可加�?/6英寸�?/8英寸不同材料的晶圅�/p>

• � 尺寸兼容性高，无需切换配件

• � 可根据客户要求定制腔佌�/p>

• 高产

• 通过旋转机械手在同一腔位完成正反面刷洗，效率髗�/p>

• 
  

• 高产野�/span>

• � 通过旋转机械手在同一腔位完成正反面刷洗，效率髗�/p>

• � 5分钟可刷完一片（�?寸碳化硅为例），产量�?/p>

• 清洗效果显著

• 通过刷片功能可将晶圆颗粒数量控制�?0颗（0.3um）以上�/p>

• 应用工序夙�/span>

• 可应用不同种类晶圆的刷洗工艺，过程刷洗和*终刷洖�/p>

产品规格