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晶圆上蜡机AET-2000B

报价９�span>面议

品牌９�/td>	江苏晶工
产地９�/td>	江苏
关注度：	78
型号９�/td>	晶圆上蜡机AET-2000B

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产品介绍

产品说明

全自动晶圆上蜡机AET-2000B为半导体晶圆材料的上蜡设备，通过气缸和气囊共同作用下压片＋�/span>

贴蜡平整度可�?um，可兼容248mm�?60mm�?85mm陶瓷盘、�/span>

采用高效机械手和精密级执行机构，控制系统稳定，重复定位精度高，产能大、�/span>

产品规格

项目	参数
型号	AET-2000B
晶圆尺寸	2-6英寸/4-8英寸
材质品种	碳化硅、蓝宝石、磷化铟等晶圅�/p>
涂蜡方式	离心
加热方式和精�?/p>	电热管、�?ℂ�/p>
压贴方式	气囊
上下料方弎�/p>	高效机械手及自动传送臂
机械手夹持方弎�/p>	陶瓷手指真空吸附
加热盘温控范図�/p>	40-80ℂ�/p>
贴片后平整度	�?um
喷蜡重复定位精度	±0.05mm
喷蜡精度	±0.02g
装载单元	双工佌�/p>
设备重量	L2600mmxW1200mmxH1930mm;1100Kg
自动化要汁�/p>	半自动：机械手自动取片，手动卸片、搬运和清洗陶瓷盗�/span> 全自动：机械手自动取片、卸片、陶瓷盘搬运和清洖�/span>

问商宵�/div>

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工商信息

企业名称

江苏晶工半导体设备有限公号�/p>

企业类型

信用代码

91320681MA7DULBU8X

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