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全自动晶圆倒角机MET-5800

报价９�span>面议

品牌９�/td>	江苏晶工
产地９�/td>	江苏
关注度：	81
型号９�/td>	全自动晶圆倒角机MET-5800

核心参数

规格外形（长*�?高）９�span>L3300×W2200×H2200mm

重量（kg）：300kg

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产品介绍

产品规格

项目	参数
晶圆尺寸	12英寸（Notch（�/p>
晶圆厚度	250um-1000um
工位	双工佌�/p>
晶圆参考面形状	R形、双R形、T型、台阶状筈�/p>
设备尺寸和重野�/p>	L3300×W2200×H2200mm�?000kg
磨削X/Y/Z轴精�?/p>	X.Y.Z轴精度：±1um
	陶瓷吸盘平面精度：�?um
	吸盘轴径向精度：±1um
	砂轮轴径向精度：±1um
砂轮外径沟部	φ200mm
砂轮外径	φ202mm
砂轮安装内径	φ30mm
砂轮厚度	20mm
砂轮转逞�/p>	4000r/min�?000r/min（根据客户要求选择（�/p>
Notch砂轮转逞�/p>	50000-160000r/min
校正机构
测量方式	非接触式或机械测厚（根据客户要求选择（�/p>
分辨玆�/p>	1μm
对中精度	20μm

问商宵�/div>

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工商信息

企业名称

江苏晶工半导体设备有限公号�/p>

企业类型

信用代码

91320681MA7DULBU8X

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注册地址

成立日期

注册资本

有效期限

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