长行程压电纳米位移台ML-92A，具有分辨率高，行程大，带有高精度及高分辨率的位置反馈，操作简单，定位准，能在真空下使用等优点,可应用于需要纳米精度运动操作及定位的各个领域、�/span>

该产品使用压电陶瓷驱动，运动无需润滑，并可在很广的温度范围内工作。运动分辨率达到纳米级。能够步进和扫描双模式工作，在宏观行程范围内达到亚纳米分辨率的定位。支持开�?闭环控制、�/span>

应用案例

1、电子显微镜原位纳米探针�?/span>

2、半导体芯片检浊�/span>

3、光刻机工件�?/span>

4、微生物操纵扊�/span>

5、光纤焊�?/span>