晶圆轮廓仪WEP-150EN/200EN/300EN系列可以非接触自动测�?"- 6"�?"- 8"�?"- 12"晶圆的边缘倒角形状以及切口面倒角形状的尺寸。选配自动上下料单元还可以实现全自动测量、�/p>

� 适用�?� �?nbsp; 12”晶�?nbsp;

� 适合于各种材质的晶圆

� 可测晶圆边缘倒角形状

� 可测晶圆切口面倒角形状

� 非接触测量，无污染，无损伣�/p>

� 可自动存储测量结�?nbsp;

� 操作界面友好，使用方�?nbsp;

� 针对晶圆测量设计，专业化水平髗�/p>