1 平/span>

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已认?/p>

SiC外延炈/div>
报价9span>面议
品牌9/td> 电子科技
产地9/td> 湖南
关注度: 16
型号9/td> SiC外延炈/td>
核心参数

非金属电热元件:其他

金属电热元件9span>其他

烧结气氛9span>其他

温控精度9span>±1ℂ/span>

最高温度:1700ℂ/span>

产品介绍

1.晶片尺寸?”~6”;
  2.**温度?700℃;
  3.控温精度:?℃;
  4.极限真空:优?Pa:/span>
  5.压力稳定性:100~1000mbar:/span>
  6.反应室漏气率?E-10Pa·m3/S
  7.工艺气体:SiH4、C3H8、N2、TMAl :/span>
  8.载气:Ar、H2 、/span>

1.内置式电磁感应加热,升降温速度?/span>
  2.基片气浮行星旋转运动,温度、外延膜均匀性好
  3.三层水平层流送气,气流均匀性好
  4.喷淋头水冷,预反应小
  5.手套箱装取片 ,反应室内洁净度高

问商宵/div>
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中国电子科技集团公司第四十八研究所为您提供电子科技SiC外延炉,SiC外延炉产地为湖南,属于粉体焙烧炉,除了SiC外延炉的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供合金薄膜敏感芯片、M5111-8WKUM型高温负压氧化炉设备、宽温区硅压敏芯体
工商信息
企业名称

中国电子科技集团公司第四十八研究所

企业类型

信用代码

81430000740639352P

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注册资本

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