』�strong style="padding: 0px; margin: 0px; box-sizing: border-box; font-family: " ";">设备特点【�/span>

■�/span>整机高度防腐，可实现高精度化学机械抛光工艺；

�?nbsp;选配蓝牙系统，可多机联控：�/span>

�?nbsp;多通道进料系统：�/span>

�?nbsp;在线实时磨抛盘温控及冷却功能：�/span>

■�span style="padding: 0px; margin: 0px; box-sizing: border-box;">磨抛盘自动冲洗功能；

』�/span>设备参数【�/span>

』�/span>技术应�?/strong>【�/span>

适用材料广泛应用亍�strong style="padding: 0px; margin: 0px; box-sizing: border-box; font-family: " ";">化合物半导体材料�?span style="padding: 0px; margin: 0px; box-sizing: border-box; font-family: " "; color: rgb(255, 0, 0);">金属薄膜�?strong style="padding: 0px; margin: 0px; box-sizing: border-box; font-family: " ";">光电材料等平面、端面及角度抛光，由于整机高度防腐，耐强酸强碱强氧化剂，除主要加工材料氮化镓、金刚石、氧化镓、多晶碳化硅外，还特别适用于CZT、MCT、GaAs、InP及类似材料的化学抛光、�/span>

应用领域广泛应用亍�/span>半导体材料衬底减薄抛先�/span>�?/span>器件制备�?/span>先进封装叉�/span>MEMS等相关领域，例如TC-SAW、FBAR、激光器、硅光子器件、TSV、SIP、Fan-out、MEMS高温压力传感器、MEMS陀螺仪等、�/span>

』�strong style="padding: 0px; margin: 0px; box-sizing: border-box; font-family: " ";">设备说明【�/span>

◊�span style="padding: 0px; margin: 0px; box-sizing: border-box;">整机高度防腐，可�?span style="padding: 0px; margin: 0px; box-sizing: border-box; font-family: " "; color: rgb(255, 0, 0);">耐强酸强碱强氧化剁�/strong>的工艺环境下实现稳定高效运行：�/span>

�?nbsp;研磨抛光盘转速可自主设定，转速范围为0-120rpm：�/span>

�?nbsp;工作时间可自主设定，连续运转时间可达10个小旵�/span>：�/span>

◊�span style="padding: 0px; margin: 0px; box-sizing: border-box;">通过选配蓝牙系统可实现一个终端多机联控，减少人工，且工艺程序所有控制参数均可在显示屎�span style="padding: 0px; margin: 0px; box-sizing: border-box; color: rgb(255, 0, 0);">独立显示：�/span>

�?nbsp;研磨工艺转到抛光工艺时，研磨盘与抛光盘的更换简捷方便，全系列磨头及附件均适配：�/span>

�?nbsp;填料系统自动控制，滴料速度可调：�/span>

�?nbsp;夹具摆幅及速度可精确控制，专�/span>摆幅范围�?�?00%：�/span>

�?nbsp;夹具压力可调，可调范围可辽�strong style="padding: 0px; margin: 0px; box-sizing: border-box; font-family: " ";">7kg：�/span>

�?nbsp;样品去除厚度可控，去除量精度1μm：�/span>

�?nbsp;配有独立真空单元，样片通过真空吸附固定到夹具上面；

�?nbsp;可定制固定组件，实现端面及角�?/span>磨抛工艺：�/span>

◊�span style="padding: 0px; margin: 0px; box-sizing: border-box;">可选配盘温监控功能，监测精�?span style="padding: 0px; margin: 0px; box-sizing: border-box; color: rgb(255, 0, 0);">1ℂ�/strong>：�/span>

�?nbsp;可独立显示并指示实际工作时长，在完成既定工艺程序名�strong style="padding: 0px; margin: 0px; box-sizing: border-box; font-family: " ";">自动关机、�/span>

』�strong style="padding: 0px; margin: 0px; box-sizing: border-box; font-family: " ";">系列型号【�/span>