产品简今�/h2>

MCS 系列耐腐蚀气体质量流量控制�?/span>可快速达到设定值并保持� 128 多种气体（包� 32 种腐蚀性气体）的质量流量、体积流量或压力的稳定控制、�/span>

• 腐蚀性气体兼� -�?2 种纯腐蚀性气体和大多数制冷剂气体兼容的接液材料、�/p>

• 用途广泛且准确-�?28 种以上的气体� 20 种自定义混合物进行实时控制，具有 NIST 可追溯精度至 ±（读数的 0.4% + 满量程的 0.2%）、�/p>

• 快速控制，多变量数� -通电后的毫秒响应时间，以您选择的工程单位控制质量流量、体积流量或压力，并显示瞬时流量、压力和温度读数、�/p>

• 易于集成 -定制过程端口和电气连接器，以及您选择� EtherNet/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU � TCP/IP）或串行通信，以便轻松集成到您的工业过程中、�/p>

性能指标

电气参数

机械参数