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型号 溶液成长法单晶生长设备(TSSG法)
型号 快速高温退火设备RTA RSA-06
型号 全自动晶片减薄机SGM-9100
型号 MIST-CVD氧化物薄膜沉积设 M150A
型号 高还原性低温热压对准键合设 MAFP
型号 高还原性低温热压键合设 FATB
型号 碳膜溅射设备 CS-200
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型号 光阻去除设备 NA-8000
型号 溅射设备 SME-200J
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