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氮化镓(GaN)MOCVD系统
报价9span>面议
品牌9/td> 上海翱晶
产地9/td> 上海
关注度: 172
型号9/td> 氮化镓(GaN)MOCVD系统
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产品介绍

GaN 6?8寸外延炉


EPIREVO G8是日本株式会社东芝的子公司纽富莱(NuFlare)的主要产品之一、/span>

EPIREVO G8通过在在200㎜Si衬底上高质量的高速成膜,

从而降低功率器件和RF器件成本的MOCVD装置,为实现低碳社会做出贡献、/span>

高生产?/span>

GaN膜能够达?µm/hour以上的高速生镾/span>

能够达到200?minute以上的高速升?/span>


高品?/span>

200mm晶片面内2度以内的**温度分布


低成?/span>

TMG可以达到20%以上的高利用玆/span>

In-Situ清洁功能带来的高生产效率


问商宵/div>
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上海翱晶半导体科技有限公司为您提供上海翱晶氮化镓(GaN)MOCVD系统,氮化镓(GaN)MOCVD系统产地为上海,属于半导体行业专用仪器,除了氮化镓(GaN)MOCVD系统的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供KOH腐蚀炉、混合激光显微镜、RIGAKU日本理学新一代形貌检测系 XRTmicron
工商信息
企业名称

上海翱晶半导体科技有限公司

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信用代码

91310000MA1GM0HX1J

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