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碳化硅(SiC)外延炉
报价9span>面议
品牌9/td> 上海翱晶
产地9/td> 上海
关注度: 715
型号9/td> 碳化硅(SiC)外延炉
核心参数

非金属电热元件:其他

金属电热元件9span>其他

烧结气氛9span>其他

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产品介绍

产品型号:EPIREVO S6

EPIREVO S6是日本株式会社东芝的子公司纽富莱(NuFlare)的主要产品之一。采用全自动化的单片双腔设计,利用垂直气流和高速旋转的生产工艺,将月产能提高到?800片以上的可能?-6英寸?0微米标准)。垂直腔体的设计以及高速旋转生长的原理可使产品全体缺陷控制?.01cm2(EDD)以内,清扫维护(PM)也达到了可连续生长2000微米以上,为目前碳化硅外延量产化?*设备。尚且,本外延炉也已经具备了简易更换配件即可对?英寸外延的可能。产能更大、质量更好、性价比更高是产品的设计宗旨、/p>


问商宵/div>
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上海翱晶半导体科技有限公司为您提供上海翱晶碳化硅(SiC)外延炉,碳化硅(SiC)外延炉产地为上海,属于粉体焙烧炉,除了碳化硅(SiC)外延炉的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供平坦度测量仪、KOH腐蚀炉、半导体晶片倒角机
工商信息
企业名称

上海翱晶半导体科技有限公司

企业类型

信用代码

91310000MA1GM0HX1J

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