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一体化气体分配系统
报价9span>面议
品牌9/td> 中科艾尔
产地9/td> 北京
关注度: 170
型号9/td> 一体化气体分配系统
核心参数

工作原理9span>其他

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产品介绍

产品介绍

MGDS气体输送系统为一体化气体分配系统技术提供了一种方法,利用平面密封技术,在更紧凑的气体面板上构建气体输送系统。每个表面安装组件遵 SEMI 标准,可根据需求形成不同的配置形式。维护时+/span>仅需在面板上方进行操作,简单方便、/span>

MGDS 系列配套专用的减压器、隔膜阀、单项阀、底座及零部件、/span>

主要部件材料

MGDS底座系列 316L /316L(VIM+VAR(/span>
MHD系列 316L/316L(VIM+VAR?Ni-Co alloy
MPD系列 316L/316L(VIM+VAR?Ni-Co alloy

MCV系列 316L/316L(VIM+VAR?Ni-Co alloy+FFKM

工作条件

工作压力0 150psi
外漏?nbsp; 1×10
-10Pa.m3/sec.He

工作温度 -10 60ℂ/span>

内表面粗糙度 Ra 0.13μm

产品特点

利用平面密封技术,在更紧凑的气体面板上构建气体输送系绞/span>


问商宵/div>
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中科艾尔(北京)科技有限公司为您提供中科艾尔一体化气体分配系统,一体化气体分配系统产地为北京,属于输送机,除了一体化气体分配系统的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供UCR金属垫片、Uα-1B 气体减压器、BV2球阀
工商信息
企业名称

中科艾尔(北京)科技有限公司

企业类型

信用代码

9111030267280057XU

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注册地址

成立日期

注册资本

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