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BF33玻璃是一ç§é«˜å“质的硼硅玻璃。具有åˆé€‚的热膨胀系数ã€å‡ºè‰²çš„表é¢å¹³æ•´åº¦ã€é€æ˜Žåº¦ç­‰æ料特性以åŠè‰¯å¥½çš„光学性能，这些正符åˆé«˜é€Ÿæ¿€å…‰è§£é”®åˆå·¥è‰ºçš„特殊è¦æ±‚。在晶圆å‡è–„工艺中，BF33玻璃晶圆性能，å¯ç”¨äºŽé˜³æžé”®åˆæˆ–作为载体晶圆ã€ü/span>中慧芯æä¾?英寸ã€?英寸等规格的BF33玻璃片：

英寸 直径/mm æŠ›é¢ åŽšåº¦ 备注
4寷ü/td> 100±0.3 åŒæŠ› 500±10 BF33玻璃牆ü/td>
6寷ü/td> 150±0.3 åŒæŠ› 300ï¼?00


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