薄膜材料的机电性能是MEMS器件设计的关键性能，纵向压电系数d33和横向压电系数e31被用于表征传感器和执行器的这些关键性能、�br/>纵向压电系数可由aixDBLI测试，而横向压电系数e31就可用aix4PB系统测试、�br/>通过必要夹具，可以测得正向e31和逆向e31、�/p>

标准的aix4PB系统主要由以下部分组成：四点弯曲样品夹具、TF Analyzer 2000、单光束激光测振仪、�br/>可以进行如下测试功能９�br/>全部铁电性能表征，基于TF2000系统，包括极化、电容、漏电流、疲劳测试、�br/>有效横向压电系数的测量通过交替均匀机械力施加于样品，并测试产生的电荷、�br/>所有的测量数据也可以在附加的压缩或拉伸静态负载下进行，这也覆盖了整个压电薄膜在整个MEMS器件中的行程、�/p>

特点/规格９�br/>四点弯曲样品夹具９�br/>产生力的压电执行�?br/>激光测振仪夹具
很容易接触到顶部和底部的样品电极
所有的TF2000系统的测试功胼�br/>远程接入和脚本控制的可选件
单光束激光干涉仪�?小分辨率1nm

软件９�br/>Windows 7 操作系统
通过GPIB或以太网的远程接入和脚本控制
通过ODBC接口的数据库连接
测试数据通过ASCII形式输出
测试数据交换通过aixPlorer软件或Resonance Analyzer