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阵列式微波源等离子模块ALAMPS

报价９�span>面议

品牌９�/td>	奋羽电子
产地９�/td>	四川
关注度：	244
型号９�/td>	阵列式微波源等离子模块ALAMPS

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技术参�?/span>

项目	固态源版本	磁控管版�?/span>
�?�?髗�/span>	626mm552mm380mm	605mm595mm632mm
输出功率	1.0kW×2	1.25kW×2
输出频率	2450MHz±25MHz	2450MHz±25MHz
频率误差	±50ppm	±50ppm
微波泄露	�?mW/cm2	�?mW/cm2
供电电压	AC220V±10%	AC220V±10%
供电频率	50Hz±2Hz	50Hz±2Hz
�?出水叢�/span>	1/8宝塔接头	DN15
冷却方式	水冷�?/8宝塔接头，水流量�?.5L/mi0)	水冷�?/8宝塔接头，水流量�?.5L/min)
控制接口	RS485通信协议	远程通讯功能
工艺气体	Ar、O2、H2、CF4筈�/span>	Ar、O2、H2、CF4筈�/span>
等离子处理面�?/span>	0.19m2	0.15m2

问商宵�/div>

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阵列式微波源等离子模块ALAMPS包安装吗＞�/li>

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