�?�?髗�/span>

(辐射模块)

490mm*390mm*128mm

490mm*390mm*128mm

腔体体积

106L

106L

输出功率

1.0kW

1.25kW

输出频率

2450MHz±25MHz

2450MHz±25MHz

频率误差

±50ppm

±50ppm

微波泄露

�?mW/cm2

�?mW/cm2

供电电压

AC380V±10%

AC380V±10%

供电频率

50Hz±2Hz

50Hz±2Hz

�?出水叢�/span>

1/8宝塔接头

DN15

冷却方式

电源: 水冷�?/8宝塔接头，水流量�?.5L/min，进水温度小于环境温度时，两者温度差�?0°C（�/span>

辐射模块: 可选水�?风冷

电源: 水冷�?/8宝塔接头，水流量�?.5L/min，进水温度小于环境温度时，两者温度差�?0°C（�/span>

辐射模块: 可选水�?风冷

控制接口

RS485通信协议

具备本地触摸屏控制及远程通讯功能，MODBUS RTU 标准通讯协议�?600,N,8,1

工艺气体

Ar、O2、H2、CF4筈�/span>

Ar、O2、H2、CF4筈�/span>

�?�?髗�/span>

(辐射模块)

490mm*390mm*128mm

490mm*390mm*128mm

腔体体积

106L

106L

输出功率

3kW

3kW

输出频率

2450MHz±25MHz

2450MHz±25MHz

频率误差

±50ppm

±50ppm

微波泄露

�?mW/cm2

�?mW/cm2

供电电压

AC380V±10%

AC380V±10%

供电频率

50Hz±2Hz

50Hz±2Hz

�?出水叢�/span>

1/8宝塔接头

DN15

冷却方式

电源: 水冷�?/8宝塔接头，水流量�?.5L/min，进水温度小于环境温度时，两者温度差�?0°C（�/span>

辐射模块: 水冷

电源: 水冷�?/8宝塔接头，水流量�?.5L/min，进水温度小于环境温度时，两者温度差�?0°C（�/span>

辐射模块: 水冷

控制接口

RS485通信协议

具备本地触摸屏控制及远程通讯功能，MODBUS RTU 标准通讯协议�?600,N,8,1

工艺气体

Ar、O2、H2、CF4筈�/span>

Ar、O2、H2、CF4筈�/span>