型号：IBSV-1030 特点：a)基板垂直放置，水平监控；b)转靶左右可调，保证靶面中心和离子�?*距离；c)基板�?2吋�? ;d)靶材：两靶或三靶可更换；e)多光路监控。f)工件夹具�?2吋工艺参数：1）真空系统a)极限真空度：4.0×10-5Pa b)抽至10Pa所用时� 10 Pa：≦ 10 分钟c)漏率�?.0×10-5Pa m3/s 2）控制精度a)靶材旋转�?.005°b)工件旋转: <1000RPMc)编码器Encode: 12000lines;480000Counts/revd)膜厚修正板：0.005°e)挡板: position switch3）光学监控系统OMSa) 波长范围�?80nm�?650nmb) 光源稳定� :白光< 0.1%，激�?lt; 0.02%c) 波长分辨玆� 白光0.2nm，激�?.1nmd) 波长准确�? 白光0.2nm ，激�?.1nm