型号：GMS-1000

特点９�/span>

1、支持向上或向下的镀膜方式；

2、先进的溅射靶材结构设计，实现膜厚分部的稳定可靠：�/span>

3、高速旋转的伞具与实际镀膜工件的监控位置，实现了所见即所得；

4、多通道透射式监控，配合可调节膜厚修正板，实现了膜厚分布的反馈控制；

5、支持任意膜厚的控制：�/span>

6、通用的控制平台，友好的人机界面，使客户可以自衋�span style="margin: 0px; padding: 0px; font-family: 微软雅黑, "Microsoft YaHei"; font-size: 16px; color: rgb(0, 0, 0);">设置镀膜机的所有控制参数；

7、开放式接口，方便安装第三方的光学膜厚仪：�/span>

8、气流和气压同时实时控制，适用出气量大的低温镀膜、�/span>

工艺参数９�br/>

1�?span style="margin: 0px; padding: 0px; border: 0px;">真空系统

a)极限真空度：4.0×10-5Pa

b)抽至10Pa所用时间：� 10 分钟

c)漏率� 3.0×10-5Pa m3/sec

2�?span style="margin: 0px; padding: 0px; border: 0px;">控制精度

a) 靶材尺寸�?寸直徃�/span>

b)工件旋逞� 20-120RPM

c)工件尺寸：直�?00mm

d)离子源：等离子体离子溏�/span>

e)加热温度：上下双加热控制�?*温度350�?/span>

f）高真空泵：DN400油扩散泵或电子泵

g）低真空泵组：机械泵+罗茨泵机练�/span>

h）冷阱：双组Polycold

3�?span style="margin: 0px; padding: 0px; border: 0px;">光学监控系统OMS

a)波长精度�?.2nm

b)光强波动: 白光< 0.1%，激�?lt; 0.02%

c)波长范围: 400nm-1650nm