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DSP EFEM设备
报价9span>面议
品牌9/td> 日扬弘创
产地9/td> 北京
关注度: 253
型号9/td> DSP EFEM设备
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产品介绍

外形尺寸:3830mm(W)x1990mm(L)x2770mm(H)

重复定位精度:±0.05mm

上料效率节拍:?s

下料效率节拍:?s

适用范围:12 寸半导体硅片

设备针对12寸半导体硅片的抛?Polishing)工序,是DSP工具的前端模块EFEM)设备,实现自动上下料、检查等功能。整个设备融合了晶圆装载口、专用洁净型机器人、视觉定位系统、梨痕检测系统、自动读码功能、自动控制信息管理系统,实现高精度自动取、放、翻转等功能。设备通过陶瓷叉臂、橡胶吸盘及碳纤维抓手多种组合方式来实现裂纹检测、自动上料及自动下料多种工况下的晶圆精准取放、/p>

问商宵/div>
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  • DSP EFEM设备使用的注意事顸/li>
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北京日扬弘创智能装备有限公司为您提供日扬弘创DSP EFEM设备,DSP EFEM设备产地为北京,属于半导体行业专用仪器,除了DSP EFEM设备的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供分选机、手?平板 PCBA 自动测试机、Unpacking
工商信息
企业名称

北京日扬弘创智能装备有限公司

企业类型

信用代码

91110115694970035T

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成立日期

注册资本

有效期限

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