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图形化晶圆缺陷检测设夆/div>
报价9span>面议
品牌9/td> 昂坤视觉
产地9/td> 北京
关注度: 174
型号9/td> 图形化晶圆缺陷检测设夆/td>
产品介绍

设备描述 Features

晶圆搬运

EFEM: 6 / 8 SMIF or 12 FOUP

适用晶圆

Si/GaN/SiC

晶圆翘曲

不大?00um

晶圆厚度

350um~1.5mm(在晶圆底部打开并夹持)

照明系统

明场和斜入射暗场

图形化晶圆颗粒检测灵敏度

150nm

非图形化晶圆颗粒检测灵敏度

80nm

检测缺陷分籺/span>

Particle, scratch, pit, bump, Haze map

工艺节点

90,130nm


问商宵/div>
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昂坤视觉(北京)科技有限公司为您提供昂坤视觉图形化晶圆缺陷检测设备,图形化晶圆缺陷检测设备产地为北京,属于测?计量仪器,除了图形化晶圆缺陷检测设备的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供F2000 集成电路前道晶圆缺陷检测设备、SPI300 晶圆形貌测量与分选设备、E1000 化合物半导体缺陷检测设备
工商信息
企业名称

昂坤视觉(北京)科技有限公司

企业类型

信用代码

91110114MA00BT241K

法人代表

注册地址

成立日期

注册资本

有效期限

经营范围

分类

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