l 适用于Aixtron Gx 每小盘多片行星式MOCVD系统

l 测温波长�?40nm ü测量反射率波长：940nm, 633nm 或定刵�/p>

l 测量曲率波长�?05nm激先�/p>

l 曲率测量传感器：PSD

l 测温范围宽：450度~1450�?nbsp;

l 测量准确度：±1度，重复性精� <0.5�?nbsp;

l 一个温度反射率测量通道�?个曲率测量通道（可配置多通道�?nbsp;

l 单点RTC探头，同时测量温度，反射率和曲率

l 独有算法，可实现行星式多片wafer的曲率测野�/p>

viperRTC–LSS (Low Speed Single point curvature) MOCVD在线监测系统，用于慢转速，多片行星式MOCVD设备，实现对工艺反射率（R），温度（T）和翘曲度（C）的实时监测。测温信号，可用于闭环温度控制、�/p>