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手动SPM清洗朹/div>
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品牌９/td> 江苏声达
产地９/td> 江苏
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型号９/td> 手动SPM清洗朹/td>
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适用工件９/p>

(Applicable parts)

4?2 pcs,6?2 pcs,8"*1 pc晶圆牆/p>

4?2 pcs,6?2 pcs,8?1pc Wafer
批量产能９br style="box-sizing: border-box;"/>(Capacity)

1 batch/30min
工艺流程９br style="box-sizing: border-box;"/>(Procedure flow) LOAD(手动)→SPM槽→HQRD槽→HOF槽→UNLOAD(手动)
主要材料９br style="box-sizing: border-box;"/>(Major material) 金属骨架SUS304+PP瓷白板，槽体采用PPN/石英
(Metal frame SUS 304,PP board,the tank uses PPN/silicon)
运送方式：
(Transportation)		 手动传?br style="box-sizing: border-box;"/>(Manual)
节拍时间９br style="box-sizing: border-box;"/>(Step time) 依工艺可谂br style="box-sizing: border-box;"/>(Based on process,Adjustable)
工艺效果９br style="box-sizing: border-box;"/> (Process effect) 清除晶圆片表面的有机?br style="box-sizing: border-box;"/>(Removal organics on the surface of wafer)
其他说明９br style="box-sizing: border-box;"/>(Others) 设备可以根据客户要求定制手动/半自?br style="box-sizing: border-box;"/>(Customized:Semiautomatic or manual)

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节拍时间９br style="box-sizing: border-box;"/>(Step time) 依工艺可谂br style="box-sizing: border-box;"/>(Based on process,Adjustable)
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工商信息
企业名称

声达半导体设备（江苏）有限公号/p>

企业类型

信用代码

91320582MAC8E0AL87

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