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全自动单片清洗机
报价9span>面议
品牌9/td> 山东联盛
产地9/td> 山东
关注度: 180
型号9/td> 全自动单片清洗机
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产品介绍

1、用于硅、碳化硅、氮化镓等半导体材料的单片腐蚀、清洗、刷洗工艺、/p>

2、机台可实现多尺寸兼?4&6寷6&8寷8&12?、/p>

3、工艺腔体经过优化设计,高性能FFU,配合可调节高度的CUP,形成一个稳定强度的downflow,严格控制wafer表面工艺区域的动态环境、/p>

4、可以实现药???有机)的排废分离,无药液的交叉污染、/p>

5、可适用衬底及外延清洗、PRstrip、Oxideremoval等工艺、/p>

6、支 GEM/SECS 协议,支持MES 系统联机、/p>


问商宵/div>
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山东联盛电子设备有限公司为您提供山东联盛全自动单片清洗机,全自动单片清洗机产地为山东,属于清?消毒设备,除了全自动单片清洗机的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供全自动清洗机、全自动深度腐蚀机、清洗机系列
工商信息
企业名称

山东联盛电子设备有限公司

企业类型

信用代码

91371526493984860Q

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