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已认?/p>

微波等离子化学气相沉积(MPCVD)系 — A垊/div>
报价9span>面议
品牌9/td> 华宇东升
产地9/td> 四川
关注度: 271
型号9/td> 微波等离子化学气相沉积(MPCVD)系 — A
产品介绍

微波等离子化学气相沉积(MPCVD)系绞/span>

—?nbsp;A垊/span>

一款典型的微波等离子体化学气相沉积装置,可以在50mm直径的衬底范围内进行金刚石单晶和多晶生长、/span>

应用领域:工具、热沉、光学窗口、宝石等、/span>




性能特点9/span>

֍**功率达到6kW

֍微波反应腔新型设计,功率密度?/span>

֍产品沉积速率快、沉积质量高

֍采用水冷全金属腔佒/span>

֍采用高效散热的样品台

֍设备安全性高、耐用性高?span style="font-family: 微软雅黑, "font-size:16px;";">可靠性强

֍多参数实时监测,PLC屏幕控制,简捷的人机交互界面


主要技术参数:

微波功率

0.6kW ?kW 连续可调 2.45GHz

反应腓/span> 圆柱形反应腔
真空漏率 ?×10-10Pa·m3/s
气体质量流量控制 标配5路,可定刵/span>
工作气压

1kPa - 30kPa

样品?/span>

一层升陌/span>

基板台类垊/span> 水冷式基板台
衬底扗/span> **支持60mm直径圆台面积稳定沉积
操作系统

PLC控制系统

样平台升降功胼/span> 有,可逈/span>
样品台旋转功胼/span> 月/span>
旋转模式 连续旋转、间歇旋?/span>
旋转角度 360°
旋转速度 0-20?分,可调芁/span>


问商宵/div>
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工商信息
企业名称

成都华宇东升微波设备有限公司

企业类型

信用代码

91510122582641763W

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