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已认?/p>

垂直氧化炈/div>
报价9span>面议
品牌9/td> 华旗科技
产地9/td> 山东
关注度: 204
型号9/td> 垂直氧化炈/td>
核心参数

非金属电热元件:其他

金属电热元件9span>其他

烧结气氛9span>其他

产品介绍

产品性能9/span>

*垂直结构??0?扸/p>

*稳定优良的成膜均匀性,重复性好

*微环境低氧控制先进技?/p>

*硅片颗粒度控制稳定,国际标准

*多工艺选择,模块化,操作便?/p>

*全自动流程,盒对盒,AGV对接

*高集成度,符合SECS?HSMS/GEM等标凅/p>

配套工艺9/p>

*氧化:干?湿氧(DCE, HCL),氮、氢退火,合金、固化,快速热退?/p>

*多晶硅P-Si,氮化硅Si3N4,氧化硅SiO2,磷硅玻璃PSG,硼磷硅玻璃BPSG

*TEOS,LTO,HTO,SIPOS...


问商宵/div>
  • 垂直氧化炉的工作原理介绍>/li>
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  • 垂直氧化炉使用的注意事项
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青岛华旗科技有限公司为您提供华旗科技垂直氧化炉,垂直氧化炉产地为山东,属于粉体焙烧炉,除了垂直氧化炉的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供垂直真空气氛炉、氢破炉、氨分解废气处理
工商信息
企业名称

青岛华旗科技有限公司

企业类型

信用代码

91370214697159379Q

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