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垂直氧化炉?寷/div>
报价9span>面议
品牌9/td> 华旗科技
产地9/td> 山东
关注度: 287
型号9/td> 垂直氧化炉?寷/td>
核心参数

非金属电热元件:其他

金属电热元件9span>其他

烧结气氛9span>氧气

产品介绍

垂直氧化系统用于IC集成电路、MEMS、电力电子器件、光电子器件等领域,6"?"晶圆的氧化、合金、退火等工艺、/p>

产品性能9/p>

*垂直结构,高效产能,150?扸/p>

*稳定优良的成膜均匀性,重复性好

*微环境低氧控制先进技?/p>

*硅片颗粒度控制稳定,国际标准

*全自动流程,盒对盒,AGV对接

配套工艺9/p>


*氧化:干?湿氧(DCE, HCL(/p>

*氮、氢退火,烧结、合金,固化筈/p>

*快速热退?/p>


问商宵/div>
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青岛华旗科技有限公司为您提供华旗科技垂直氧化炉?寸,垂直氧化炉?寸产地为山东,属于箱式炉,除了垂直氧化炉?寸的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供垂直真空气氛炉、氢破炉、氨分解废气处理
工商信息
企业名称

青岛华旗科技有限公司

企业类型

信用代码

91370214697159379Q

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